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超纯水冲洗基板

超纯水冲洗基板

[来源:未知]    [作者admin]    [日期:2016-02-19 09:21]    [热度:]

  TFT(ThinFilmTransistor薄膜电晶体)-LCD(液晶显示器)广泛应用在笔记本电脑、摄像机、数字相机监视器、手机等方面,是液晶乃至整个平板显示技术领域的主导技术。TFT-LCD的生产自动化系统的工序中,需要用超纯水冲洗基板并进行化学处理,而化学处理中化学液需要用一定浓度的化学原液与超纯水混合配置,化学液直接与工件接触。若超纯水水质不纯,将会影响产品良率。同时,超纯水系统的供应达到30m3/h,供水量大,即使是超纯水供水的短暂故障也会造成巨大的经济损失。综上分析,超纯水系统的产水率、稳定性和可靠性将直接关系TFT-LCD的产品的不良率和产品生产成本。

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